小型真空等離子清洗機(jī)是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧，真空腔容量大，適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境；清洗過程不會產(chǎn)生高溫，避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形；可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料，應(yīng)用廣泛。
小型真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品參數(shù)
1、腔體材質(zhì)：不銹鋼
2、供電電源：AC220V
3、射頻電源功率：0-500W 可調(diào)
4、射頻頻率：25KHz
5、真空度：≤100Pa
6、氣體路數(shù)：單路
7、氣體流量：0.1-1l/min(可調(diào))
8、清洗時間：0—999秒連續(xù)可調(diào)
9、內(nèi)腔尺寸：147mm*145mm
10、外形尺寸：452mm*340mm*225mm
11、重量：≈18KG
小型真空等離子清洗機(jī)是一種高科技的表面清洗設(shè)備，主要用于清洗微小、復(fù)雜、高精度、高要求的零部件及器件表面。它采用等離子體原理，將含有污染物、氧化物等雜質(zhì)的表面暴露在高能離子束下，使這些有害物質(zhì)與基材分子進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，最終形成揮發(fā)性物質(zhì)被清除。
小型真空等離子清洗機(jī)的主要優(yōu)勢包括：
1.清洗效果好：可以有效清除復(fù)雜零件表面的有害雜質(zhì)。
2.清洗速度快：操作簡便快捷，不需要任何化學(xué)試劑，清洗時間一般在幾分鐘之內(nèi)就可以完成。
3.清洗精度高：能夠清洗出微小尺寸的污染物，避免表面再次受到污染。
4.操作環(huán)境友好：清洗完畢后不會留下廢料，同時清洗過程中不會產(chǎn)生有害物質(zhì)。
小型真空等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、光電、航空航天等行業(yè)的制造、實(shí)驗(yàn)研究等領(lǐng)域，是目前表面處理工藝的重要設(shè)備之一。
產(chǎn)品型號：
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