國內(nèi)首條量子芯片生產(chǎn)線亮相央視 雷博科儀設(shè)備助力量子芯片光刻

在《流浪地球2》中，智能量子計算機MOSS作為隱藏的幕后黑手，讓擁有強大計算能力的量子計算機再一次成為熱點。MOSS并非純粹的科學幻想，現(xiàn)實中量子計算機的研究早已起步，并取得了實際成果。

我國在量子計算機領(lǐng)域走在世界前列。近幾年，“九章”“祖沖之號”量子計算機先后問世并完成升級，在超導量子系統(tǒng)、隨機線路采樣任務等方面實現(xiàn)了量子計算*性。而最新量子計算機“悟空”也即將在合肥本源量子的實驗室問世，有望成為國內(nèi)頂尖的實用量子計算機。

近日，為“悟空”生產(chǎn)配套量子芯片——“悟空芯”的國內(nèi)首條量子芯片生產(chǎn)線通過央視直播展現(xiàn)在觀眾面前。據(jù)報道，該條產(chǎn)線于2022年1月投入運營，在一年時間內(nèi)，陸續(xù)導入24臺量子芯片生產(chǎn)相關(guān)的工藝設(shè)備，孵化出了3套自研的量子芯片專用設(shè)備。其中，江蘇雷博科學儀器有限公司（以下簡稱“雷博科儀”）研發(fā)的AC200-SE-CTM 自動勻膠機和AC200-S-CTM自動顯影機成為該條產(chǎn)線勻膠工藝和顯影工藝的專用設(shè)備。

 

 

量子芯片工作在-270℃左右的環(huán)境中，與普通芯片有較大區(qū)別，因此量子芯片的材料、生產(chǎn)工藝等也與普通芯片不同，這對生產(chǎn)設(shè)備提出了特殊的要求。該條產(chǎn)線所用的AC200-SE-CTM 自動勻膠機和AC200-S-CTM自動顯影機由雷博科儀為量子芯片生產(chǎn)專門定制。勻膠機為自動擺臂與4路滴膠功能，顯影機則是擁有雙自動擺臂、3路顯影、1路純水、1路氮氣的功能，可處理1cm至8英寸晶圓。

 

自動顯影機

 

 

自動勻膠機

 

AC系列是雷博科儀旋涂薄膜制備類產(chǎn)品線的代表，應用于量子芯片生產(chǎn)線的AC200衍生機采用模塊化設(shè)計，支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制，可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷。同時AC200衍生機還配載了精密的運動控制系統(tǒng)，可提高實驗精度及重復性。

 





勻膠和顯影是芯片生產(chǎn)核心工藝——光刻工序的重要步驟。光刻工序分為涂膠、曝光、顯影三大步驟，首先用勻膠機將光刻膠涂覆在晶圓表面，再用光刻機進行曝光，然后利用顯影機進行圖形顯影。勻膠和顯影直接影響光刻工序圖形的質(zhì)量，圖形質(zhì)量也對后續(xù)蝕刻和離子注入等工藝有著重要影響。雷博科儀成為國內(nèi)首條量子芯片生產(chǎn)線勻膠和顯影設(shè)備的提供者，不僅驗證了其在涂膠顯影設(shè)備技術(shù)上的先進性，也說明了國產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備已經(jīng)可以滿足部分高端芯片生產(chǎn)。

據(jù)了解，在晶圓加工領(lǐng)域，涂膠顯影設(shè)備主要被日本東京電子有限公司壟斷。除光刻機外，涂膠顯影設(shè)備的國產(chǎn)化替代也是國內(nèi)芯片產(chǎn)品發(fā)展的重要課題。目前，國產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備廠商正在迎頭趕上，逐步打破進口產(chǎn)品壟斷并填補國內(nèi)空白，雷博科儀也在為實現(xiàn)涂膠顯影設(shè)備的國產(chǎn)化替代而努力。在量子芯片生產(chǎn)線發(fā)光發(fā)熱的涂膠顯影設(shè)備，在普通芯片生產(chǎn)中也能夠提供令人滿意的成果。

為解決芯片的“卡脖子”問題，我國對國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)提供了政策、資金等多方面的大力支持。近年來，我國不僅在硅基芯片上，在光量子、超導量子、碳基芯片等新型芯片領(lǐng)域也接連實現(xiàn)重大突破，芯片產(chǎn)業(yè)的自立自強在逐步推進。這是國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展時期，也是雷博科儀等芯片生產(chǎn)設(shè)備廠商的重要舞臺。助力國產(chǎn)芯片的發(fā)展，雷博科儀已做好準備。